Sputtern, Ionenzerstäubung, Abdampfen von Atomen und Atomclustern von der Oberfläche eines Stoffes unter Bestrahlung mit beschleunigten Ionen. Technische Anwendungen sind das Ätzen (Sputterätzen, ...
Die Anlage MEGA vereint die Vorzüge verschiedener Beschichtungstechnologien: klassisches DC Magnetron-Sputtern, reaktives (Co-)Magnetron Sputtern, Hochfrequenz-Sputtern, Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern ...
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